1、在系統中做主泵
所謂主泵便是對真空系統被抽容器直接停止抽真空,以契合工藝要求所需真空度的真空泵。
2、粗抽泵
粗抽泵是指從大氣壓初步失落真空系統壓強到達另一抽氣系統能夠初步工作的真空泵。
3、前級泵
前級泵是指用于使另一個泵的前級壓強保持在其前級壓強以下的真空泵。
4、保持泵
保持泵是指認真空系統抽氣很小時,不可以有用的使用重要前級泵。為此,在真空系統中另配一種抽氣速率較小的協助前級泵來保持主泵的正常工作或保持已抽閑的容器所需的高壓的真空泵。
5、粗真空泵或低真空泵
粗、低真空泵是指從大氣初步,失落被抽容器的壓強后工作在低真空或粗真空壓強領域內的真空泵。
6、高真空泵
高真空泵是指在高真空領域工作的真空泵。
7、超高真空泵
超高真空泵是指在超高真空領域工作的真空泵。
8、增壓泵
增壓泵平日指工作在低真空泵和高真空泵之間,用以進步抽氣系統在中心壓強領域的抽宇量或失落前級泵抽氣速度要求的真空泵。